在金属薄膜表面PECVD二氧化硅应该没问题吧

提问者:用户Xw1X3ryO 更新时间:2024-12-29 10:01:51 阅读时间: 2分钟

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PECVD二氧化硅对金属的粘附性不错,淀积的也还行,但是反应的源得控制好,而且像NO或NO2这类的气体都有毒性,但是确实是可实现的。我是用磁控长的SiO2,在Al上长的,长出来效果也不错,粘附性也很好,就是时间长了点。希望这些对你有所帮助。

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