最佳答案
PECVD二氧化硅对金属的粘附性不错,淀积的也还行,但是反应的源得控制好,而且像NO或NO2这类的气体都有毒性,但是确实是可实现的。我是用磁控长的SiO2,在Al上长的,长出来效果也不错,粘附性也很好,就是时间长了点。希望这些对你有所帮助。
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