利用光谱共焦测量技巧，可能掉掉落超高辨别率。纳米级辨别率源于上述经过特别处理掉掉落的加长光谱范畴。因为采取检测核心的色彩，掉掉落间隔信息，光谱共焦传感器可能采取非常小的测量光斑，从而容许测量非常小的被测物体。这也意味着，即便被测名义有非常略微的划痕，也逃不过光谱共焦传感器的眼睛。
因为光谱共焦传感器的光路非常紧凑跟会合，使其非常合适测量钻孔构造。而其他测量方法，如激光三角反射式测量，对小孔每每力所不及，因为小孔构成的暗影会遮挡反射光的光路，无法停止测量。针对这种小孔测量任务，德国米铱公司推出了IFS 2402微型光谱共焦传感器探头。这种探头拥有仅4mm的探头直径，可能探入小孔外部停止测量。
另一种非常合适光谱共焦传感器的利用是测量多层通明材料的厚度。与其他测量方法差别，光谱共焦传感器在测量这种物体时，仅须要一支探头就可能实现测量。测量被测物体前端面跟后端面的反射光，从而掉掉落层厚信息。因为测量只利用白光，无需额定附加激光保险办法。因为探头本身不含有任何电路，传感器探头还可能被用于有防爆请求的情况或许有电磁烦扰请求
的情况。而把持器可能被放置于保险间隔以外。容许最长50m的光纤连接探头跟把持器。但是，须要禁止在光路上存在遮挡物或小颗粒，这会影响测量精度，乃至使丈量变得弗成实现。因为采取的是光学测量方法，探头到被测物体的间隔也有必定限制。