真空严密性评价标准如下: 1)优:0.133KPa/分(1mmHg/分)。2)良:0.266KPa/分(2mmHg/分)。3)合格:0.399KPa/分(3mmHg/分)。 负荷应在80%额定负荷(有的机组是在额定负荷)下进行。。