利用光譜共焦測量技巧,可能掉掉落超高剖析度。納米級剖析度源於上述經過特別處理掉掉落的加長光譜範疇。因為採用檢測核心的色彩,掉掉落間隔信息,光譜共焦感測器可能採用非常小的測量光斑,從而容許測量非常小的被測物體。這也意味著,即便被測名義有非常略微的劃痕,也逃不過光譜共焦感測器的眼睛。
因為光譜共焦感測器的光路非常緊湊跟會合,使其非常合適測量鑽孔構造。而其他測量方法,如激光三角反射式測量,對小孔每每力所不及,因為小孔構成的暗影會遮擋反射光的光路,無法停止測量。針對這種小孔測量任務,德國米銥公司推出了IFS 2402微型光譜共焦感測器探頭。這種探頭擁有僅4mm的探頭直徑,可能探入小孔外部停止測量。
另一種非常合適光譜共焦感測器的利用是測量多層通明材料的厚度。與其他測量方法差別,光譜共焦感測器在測量這種物體時,僅須要一支探頭就可能實現測量。測量被測物體前端面跟後端面的反射光,從而掉掉落層厚信息。因為測量只利用白光,無需額定附加激光保險辦法。因為探頭本身不含有任何電路,感測器探頭還可能被用於有防爆請求的情況或許有電磁干擾請求
的情況。而把持器可能被放置於保險間隔以外。容許最長50m的光纖連接探頭跟把持器。但是,須要禁止在光路上存在遮擋物或小顆粒,這會影響測量精度,乃至使丈量變得弗成實現。因為採用的是光學測量方法,探頭到被測物體的間隔也有一定限制。